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电容式传感器的灵敏度及非线性

2016-12-19 14:18:33 |人围观 | 评论:

单级变隙电容的相对变化量为：

非线性误差为：

结论：要提高灵敏度，应减小d0，但非线性误差却增大

差动式结构：





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